Conception et réalisation d'un AFM métrologique

Doctorant : Benoit Poyet
Contact LNE : Sébastien Ducourtieux

Contexte général

Les instruments de type microscope à sonde locale (SPM) sont très couramment utilisés dans l'industrie et le monde de la recherche. Tous ces instruments sont basés sur un système de balayage (éléments de translation XYZ et guidages mécaniques) qui peut être équipé de capteurs de positions. En fonction des applications, un étalonnage périodique peut être nécessaire : il est obtenu à partir d'un étalon de transfert qui doit lui même être étalonné par un organisme certifié. Actuellement, aucun organisme français ne prend en charge cet étalonnage. Sur la scène nationale, l'AFM Métrologique permettrait d'apporter une réponse à cette demande, de la développer et de rendre l'étalonnage accessible à tous.

Objectif

L'objectif de la thèse est de concevoir et de réaliser un AFM Métrologique petite course dont les mesures sont traçables à la définition de l'unité de longueur. Les courses envisagées sont de l'ordre de 100 µm pour les axes XY et 10 µm pour l'axe Z, avec une incertitude sur la mesure de la position relative de la pointe par rapport à l'échantillon de l'ordre du nanomètre.

Partenaires

- Laboratoire de Laboratoire de Métrologie et de Mathématiques Appliquées (L2MA) de l'ENSAM de Lille
- Laboraratoire d'Ingénierie des Systèmes de Versailles (LISV) de l'Université de Versailles Saint-Quentin en Yvelines (UVSQ)

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