Partenariat LNE-SOLEIL : Un 1er étalon de transfert nanométrique opérationnel

Dans le cadre de cette collaboration, le LNE a remis au Synchrotron SOLEIL basé sur le plateau technologique Paris-Saclay, un étalon de transfert à l’échelle nanométrique permettant d’étalonner des microscopes (MEB et AFM) par rapport au mètre du Système international d’unités.

Remise de l'étalon au Synchrotron SOLEIL

La remise de ce premier étalon, dont la valeur de référence a été assignée par le Microscope à force atomique métrologie (mAFM) du LNE, intervient dans le cadre d’un accord de partenariat signé en décembre 2018 entérinant une collaboration de longue date entre le LNE et le Synchrotron SOLEIL.

En effet, depuis plusieurs années, le Laboratoire de Métrologie du Groupe Optique de SOLEIL (LMO) bénéficie de l’expertise en métrologie dimensionnelle par Microscopie à Force Atomique (AFM) du LNE pour la caractérisation des optiques diffractives utilisées sur les lignes de lumière de SOLEIL. Les échanges réguliers ont permis au LMO de maîtriser ses incertitudes de mesure et, en retour, le LNE a pu bénéficier des moyens de mesures du LMO et du laboratoire de Métrologie Dimensionnelle (MetroDim) de SOLEIL pour le développement d’un AFM métrologique.

De nouveaux projets communs à l'étude

Cet accord de partenariat officialise le début de nouveaux projets communs, ciblés vers la définition de nouvelles méthodes d’étalonnage pour AFM et notamment le développement d’étalons  basés sur des principes de nouvelle génération. Un projet d’étalon à marches virtuelles est à l’étude. Il serait réalisé à l’aide d’une platine de translation contrôlée par interférométrie, qui génèrerait des déplacements traçables directement sous la pointe de l’AFM. On obtiendrait ainsi la couverture par un étalon unique de toute la gamme de mesure de l’instrument, ce qui permettrait d’en améliorer la justesse.

AFM métrologique du LNE

Grâce à cet accord, les équipes de SOLEIL auront accès à la plateforme de caractérisation métrologique des nanomatériaux du LNE, plateforme Carmen, basée à Saint Quentin en Yvelines. En échange, le LNE aura accès aux moyens de mesures du LMO et du MétroDim de SOLEIL.

Avec ces nouveaux projets, le Réseau National de la Métrologie Française qui dispose d’un accès à la ligne de Métrologie du Synchrotron SOLEIL amplifie les opportunités de collaborations entre les deux organismes.

Le LMO s’est engagé à demander l’accréditation d’une partie de ses activités de métrologie selon le norme ISO 17025 - 2017 « Exigences générales concernant la compétence des laboratoires d’étalonnages et d’essais ». Pour cela ses instruments doivent être raccordés au Système international d’unités. Dans le cadre de cette collaboration, le LNE accompagnera SOLEIL dans cette démarche.

En savoir plus sur les activités de nanométrologie du LNE

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