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Etalonnage dans la gamme du nanomètre de réseaux périodiques pour microscope

L’innovation fait de plus en plus appel à la miniaturisation et il est nécessaire de pouvoir corréler les mesures dimensionnelles (rugosité, CD, hauteur...) aux propriétés nouvelles apparaissant à ces échelles réduites. L'obtention de mesures dimensionnelles fiables et comparables passe par l'établissement de la chaîne de traçabilité au mètre SI.

Étalonnages proposés

  • Assignation d'une valeur de référence traçable à des étalons de transfert / structures périodiques (incertitude de l'ordre du nanomètre)
  • Fourniture d'étalon : pas nominal du réseau de 900 nm / hauteur de marche de 60 nm (réf : P900H60)
  • Développement de structures de référence traçable à façon
AFM métrologique

Étendue de mesure maximale : 60 µm x 60 µm x 15 µm
Volume maximum des échantillons : 20 mm x 20 mm x 8 mm

Prestations complémentaires

  • Conditionnement optionnel des étalons en boîte Téflon
  • Nettoyage des étalons
  • Fourniture d'un logiciel pour automatiser le processus d’étalonnage (Pollen Metrology)

Une traçabilité assurée par l'AFM métrologique

Au titre de ses missions d’Institut National de Métrologie français, le LNE a développé au cours des dernières années son propre AFM métrologique qui permet d'atteindre une incertitude type de l'ordre du nanomètre. Cet instrument de référence, installé dans une salle blanche en environnement contrôlé (température et hygrométrie), constitue le moyen d’étalonnage primaire national pour les intruments de mesure de propriétés dimensionnelles à l'échelle du nanomètre. Une vingtaine d'instruments de ce type existent à travers le monde. La position de la pointe par rapport à la surface de l’échantillon y est déterminée de façon très précise par des interféromètres laser dont la longueur d’onde est elle-même étalonnée par rapport au laser de référence stabilisée en fréquence

Références

[1] Ducourtieux S., Poyet B., Development of a metrological atomic force microscope with minimized Abbe error and differential interferometer-based real-time position control, Meas. Sci. Technol.,2011, 22 090410
[2] Ceria P., Ducourtieux S., Boukellal Y., Allard A., Fischer N., Feltin N., Modelling of the X,Y,Z positioning errors and uncertainty evaluation for the LNE's mAFM using the Monte Carlo method, Meas. Sci. Technol., 2017, 28 034007
[3] Poyet B., Thèse de doctorat, Université de Versailles – Saint Quentin en Yvelines, Conception d’un microscope à force atomique métrologique, 2010
[4] Boukellal Y, Thèse de doctorat, Ecole doctorale de l’ENS Cachan, Contribution à la mise en place d’un microscope à force Atomique métrologique (mAFM) : Conception d’une tête AFM métrologique et caractérisation métrologique de l’instrument, 2015
[5] Ceria P., Thèse de doctorat, Université de Toulouse 3 Paul Sabatier, Développement d’un AFM virtuel pour l’évaluation du bilan d’incertitude de l’AFM métrologique du LNE, 2017

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