L’innovation fait de plus en plus appel à la miniaturisation et il est nécessaire de pouvoir corréler les mesures dimensionnelles (rugosité, CD, hauteur...) aux propriétés nouvelles apparaissant à ces échelles réduites. L'obtention de mesures dimensionnelles fiables et comparables passe par l'établissement de la chaîne de traçabilité au mètre SI.
Étendue de mesure maximale : 60 µm x 60 µm x 15 µm
Volume maximum des échantillons : 20 mm x 20 mm x 8 mm
Au titre de ses missions d’Institut National de Métrologie français, le LNE a développé au cours des dernières années son propre AFM métrologique qui permet d'atteindre une incertitude type de l'ordre du nanomètre. Cet instrument de référence, installé dans une salle blanche en environnement contrôlé (température et hygrométrie), constitue le moyen d’étalonnage primaire national pour les intruments de mesure de propriétés dimensionnelles à l'échelle du nanomètre. Une vingtaine d'instruments de ce type existent à travers le monde. La position de la pointe par rapport à la surface de l’échantillon y est déterminée de façon très précise par des interféromètres laser dont la longueur d’onde est elle-même étalonnée par rapport au laser de référence stabilisée en fréquence
[1] Ducourtieux S., Poyet B., Development of a metrological atomic force microscope with minimized Abbe error and differential interferometer-based real-time position control, Meas. Sci. Technol.,2011, 22 090410
[2] Ceria P., Ducourtieux S., Boukellal Y., Allard A., Fischer N., Feltin N., Modelling of the X,Y,Z positioning errors and uncertainty evaluation for the LNE's mAFM using the Monte Carlo method, Meas. Sci. Technol., 2017, 28 034007
[3] Poyet B., Thèse de doctorat, Université de Versailles – Saint Quentin en Yvelines, Conception d’un microscope à force atomique métrologique, 2010
[4] Boukellal Y, Thèse de doctorat, Ecole doctorale de l’ENS Cachan, Contribution à la mise en place d’un microscope à force Atomique métrologique (mAFM) : Conception d’une tête AFM métrologique et caractérisation métrologique de l’instrument, 2015
[5] Ceria P., Thèse de doctorat, Université de Toulouse 3 Paul Sabatier, Développement d’un AFM virtuel pour l’évaluation du bilan d’incertitude de l’AFM métrologique du LNE, 2017