L'étalonnage de vos étalons permet de les raccorder au système d'unités international et d'assurer la traçabilité de vos mesures. Cette démarche permet de répondre aux exigences de votre système qualité.

Etalonnages proposés

Etalons de profondeur

Etalonnage d'un étalon de profondeur normalisé de type A (selon ISO 5436-1) sur un profilomètre muni de deux axes interférométriques et d'un palpeur à contact.

  • Détermination de la profondeur d sur une moyenne de 5 mesures réparties sur la surface de l'étalon.
  • Incertitude de mesure optimale : 25 nm + 25.10-6.d (k=2)

Etalons de rugosité

Etalonnage d'un étalon de rugosité normalisé de type C ou D (selon ISO 5436-1) sur un profilomètre muni de deux axes interférométriques et d'un palpeur à contact.
Domaine de mesure : 0,1 µm ≤ Ra ≤ 20 µm
Conditions de détermination des paramètres d'amplitudes (ISO 4287) ou bien des paramètres de motifs (ISO 12085) :

  • Filtrage de profil total (filtre longueur d'onde ʎs).
  • Dans le cas des paramètres d'amplitude, 12 mesures seront réalisées, réparties sur la surface de l'étalon avec une longueur d'évaluation égale à 5 longueurs de base.
  • Dans le cas des paramètres de motif, les mesures sont effectuées sur au moins 3 motifs.

Incertitudes de mesure optimales :  10 nm + 10.10-3.Ra pour les paramètres de moyenne, 30 nm + 10.10-3.Rz pour les paramètres d'amplitude et 0,5 µm pour les paramètres d'espacement (k=2).

Accréditations

  • Accréditation COFRAC n° 2-35 (site de Paris)

Liste des sites et portées disponibles sur www.cofrac.fr