Étalonnage d'étalons d'état de surface

Étalonnages proposés

Étalons de profondeur

Étalonnage d'un étalon de profondeur normalisé de type A (selon ISO 5436-1) sur un profilomètre muni de deux axes interférométriques et d'un palpeur à contact.

• Détermination de la profondeur d sur une moyenne de 5 mesures réparties sur la surface de l'étalon.
• Incertitude de mesure optimale : 25 nm + 25.10^-6.d (k=2)

Étalons de rugosité

Étalonnage d'un étalon de rugosité normalisé de type C ou D (selon ISO 5436-1) sur un profilomètre muni de deux axes interférométriques et d'un palpeur à contact.
Domaine de mesure : 0,1 µm ≤ Ra ≤ 20 µm
Conditions de détermination des paramètres d'amplitudes (ISO 4287) ou bien des paramètres de motifs (ISO 12085) :

• Filtrage de profil total (filtre longueur d'onde ʎs).
• Dans le cas des paramètres d'amplitude, 12 mesures seront réalisées, réparties sur la surface de l'étalon avec une longueur d'évaluation égale à 5 longueurs de base.
• Dans le cas des paramètres de motif, les mesures sont effectuées sur au moins 3 motifs.

Incertitudes de mesure optimales :  10 nm + 10.10^-3.Ra pour les paramètres de moyenne, 30 nm + 10.10^-3.Rz pour les paramètres d'amplitude et 0,5 µm pour les paramètres d'espacement (k=2).